暂无数据
N2 Purge
设备功能：用于Load Port，提供氮气吹扫功能，达到降湿除尘的目的
关键词：
N2 Purge
所属分类：
EFEM辅助设备
产品附件：
咨询热线：
N2 Purge
设备功能及信息概述：
|
设备功能 |
用于Load Port，提供氮气吹扫功能，达到降湿除尘的目的 |
|
设备特点 |
台面具有FOUP传感器，取走FOUP后Purge停止，不会产生N2浪费 |
|
通过流量开关实现2~200L/Min流量调节，经过60S~120S的Purge，可将RH值降低至10%（FOUP封闭情况下）；若FOUP自带Diffuser会减少N2 Purge时间及N2的消耗 |
|
|
控制形式 |
采用PLC控制，一套控制系统可以实现多组N2 Purge同时控制；通讯PLC能具备SECS通讯协议，与上位系统进行实时通讯，满足设备远程控制的功能 |
相关产品
暂无数据
产品询价
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
关注我们
扫描关注公众号